北京
国家知识产权局信息显示，上海庆建廷科技有限公司申请一项名为“一种自适应预热与输送容器自动切换控制方法及系统”的专利，公开号CN122687175A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种自适应预热与输送容器自动切换控制方法及系统，涉及半导体集成电路制造装备技术领域。方法包括：在主输送容器物料消耗至预设阈值时，基于升华动力学耦合模型及饱和蒸气压特征常数，自适应升高主输送容器温度以补偿升华速率衰减，并反向确定备用输送容器的预热靶温；切换前通过反馈泄放控制平滑释放备用输送容器内多余饱和蒸气压，使之与主缓冲容器压力精确主动对齐；切换过程中使两输送容器的输出调节组件按相反的互补函数重叠交叉启闭，保持系统的总质量流量波动率在预设阈值内。本发明有效地消除了切换瞬态压力尖峰与流量凹陷，实现了固态前驱体的高品质、不间断、高精度连续输送，适用于半导体ALD/CVD薄膜沉积工艺。
天眼查资料显示，上海庆建廷科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2220万人民币。通过天眼查大数据分析，上海庆建廷科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，专利信息30条，此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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