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皓宇芯光申请桌面级高次谐波极紫外透射相干衍射成像装置及方法专利,有助于提升桌面级高次谐波极紫外相干衍射成像系统的稳定性与重建精度

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国家知识产权局信息显示,合肥皓宇芯光科技有限公司申请一项名为“一种桌面级高次谐波极紫外透射相干衍射成像装置及方法”的专利,公开号CN122689718A,申请日期为2026年8月。

专利摘要显示,本发明公开了一种桌面级高次谐波极紫外透射相干衍射成像装置及方法,属于极紫外光学成像及相干衍射成像技术领域。该装置包括高次谐波极紫外光源、多层膜镜单色化组件、柱面镜聚焦组件、样品扫描模块及远场衍射探测模块,沿光路设置多个电控光阑形成分段空间约束。通过将电控光阑透过强度信号作为反馈量,构建光轴误差与焦点偏移的联合评价函数,驱动多层膜镜与柱面镜进行协同优化调节,实现联合校准。本发明将传统依赖衍射图样人工判断的调试过程转化为基于光阑反馈的闭环优化过程,实现对不可见极紫外光路的分段诊断与主动稳定补偿,有助于提升桌面级高次谐波极紫外相干衍射成像系统的稳定性与重建精度。

天眼查资料显示,合肥皓宇芯光科技有限公司,成立于2023年,位于合肥市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1580.4094万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥皓宇芯光科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目18次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息25条,此外企业还拥有行政许可3个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员

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