北京
国家知识产权局信息显示，安徽量伙半导体有限公司申请一项名为“RTP退火炉腔室降温速率冷却水速率自动补偿方法”的专利，公开号CN122688714A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本发明公开了RTP退火炉腔室降温速率冷却水速率自动补偿方法，涉及半导体制造技术领域，包括以下步骤：采集降温阶段连续时间推进中的温度变化轨迹，对各时间点温度变化速率进行计算，筛选出短时间内温度变化速率降低且整体温度保持下降趋势的时间片段，并基于时间片段构建停滞表征集合。本发明通过识别降温阶段温度变化中的短时扰动区段，避免将瞬时波动误判为降温不足，从而减少冷却水过度调节，使温度变化过程保持连续稳定；同时通过缓释与渐进释放调节方式，使冷却作用在时间轴上逐步展开，抑制温度快速下探，降低温度梯度波动，减轻热应力影响并提升工艺稳定性。
天眼查资料显示，安徽量伙半导体有限公司，成立于2024年，位于合肥市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽量伙半导体有限公司参与招投标项目3次，专利信息12条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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