营收涨、毛利跌之后：薄膜沉积设备国产替代的真实进度

最近连续看了几家国产半导体设备公司的年报，发现一个有意思的现象：营收都在增长，但毛利率却普遍比前几年低。按理说国产替代应该是一门越来越赚钱的生意，为什么结果恰恰相反？

北方华创营收 393.53 亿元，同比增长 30.85%；中微公司 123.85 亿元，增长 36.62%；拓荆科技 65.19 亿元，增长 58.87%（三家公司 2025 年报）。三家都创了新高。但同一时期，拓荆的综合毛利率从 2023 年的 51.01% 掉到 34.95%，中微从 2023 年 45.83% 的高点降到 39.17%，北方华创也从 2022 年 43.83% 的高点回落到 40.10%（腾讯证券财务数据；富途牛牛援引《日经亚洲》）。

卖得更多，赚得更薄。

薄膜沉积设备是晶圆制造里仅次于光刻和刻蚀的第三大设备市场，也是国产替代最难啃的一块。上面这组数字说的就是它现在的处境：订单在涌进来，利润在往外漏。

这个行业做的是什么。简单来说，芯片制造可以理解为反复做四件事：画图纸（光刻）、盖层（薄膜沉积）、修整（刻蚀）、量尺寸（量检测）。薄膜沉积负责的是盖层——在晶圆表面一层层沉积绝缘层、导电层、阻挡层和外延层。90nm 工艺大约需要 40 道沉积工序，3nm FinFET 超过 100 道（国海证券，2025）。制程越先进，要盖的楼层越多，这个环节的设备价值量就越高。

这个市场有多大？东海证券按 2025 年全球晶圆制造设备约 1108 亿美元、薄膜沉积占约 22% 推算，全球市场约 244 亿美元，其中中国大陆约 102 亿美元；PW Consulting 的口径给出 2025 年 350 亿美元、2032 年 675.57 亿美元，2025—2032 年 CAGR 9.85%；国海证券另有测算，2023/2024E/2025E 分别为 210.3/216.3/248.1 亿美元。三个数字不同，但指向同一个量级和同一条稳步扩张的曲线。

份额结构则要稳定得多。应用材料、泛林、东京电子合计占全球约 75%；PVD 市场应用材料长期维持 85% 以上；ALD 由东京电子（31%）和 ASM（29%）形成双强（东海证券，2025）。中国大陆这边，Bernstein 的《2025 年中国晶圆制造设备竞争格局报告》显示，薄膜沉积设备整体国产化率约 27%；但拆到细分，CVD 和 ALD 只有 5%—10%，PVD 在成熟制程 15%—20%、先进制程低于 10%（东海证券；PW Consulting / 招商证券）。

27% 和 5% 之间的落差，是这个行业最容易被误读的地方。整体数字已经不低，但技术含量最高、增长最快的 CVD 和 ALD，国产几乎还没进去。

份额结构划出了国产厂商的空间，接下来这组数字说明抢这块空间要付什么代价。拓荆科技是最典型的样本。2025 年 PECVD 收入 51.42 亿元，同比增长 75.27%，占总营收约 79%；ALD 收入 3.01 亿元，增长 191.82%；混合键合设备 1.36 亿元，增长 41.92%；年底在手订单 110 亿元（拓荆 2025 年报）。如果按照2025年65.19亿元总营收计算，PECVD已经贡献了约79%的收入。这意味着拓荆当前的增长，很大程度上仍然押注在PECVD这一核心产品线上。ALD虽然增长191.82%，但绝对规模只有3.01亿元，短期内还不足以改变收入结构。

订单不缺，增速不低，但毛利率两年掉了 16 个百分点。

为什么会这样？目前有两种解释。

第一公司自己的说法是成本前置。拓荆在业绩会上解释，2025 年新产品、新工艺设备收入占比高，部分产品在未完成内部测试步骤时就被客户催着出货，导致在客户端的验证成本偏高。这个解释有数据支持——2026 年一季度毛利率回升到 41.69%，环比连续四个季度改善。

也有另一种解释。Needham 半导体分析师 Charles Shi 对《日经亚洲》表示，尽管国内设备公司收入仍保持强劲增长，但有迹象显示其利润率正在恶化，原因是本土供应商相互压价，争夺原本由美、日、荷厂商占据的份额。同一篇报道提到，一些厂商为把设备导入晶圆厂，不惜打折甚至免费送。

短期看，成本前置能解释大部分降幅，一季度的回升支持这一点。中期的结构性压力也已经成型：三家龙头都在把产品线延伸到对方的领域——北方华创做平台化全品类，中微从刻蚀切向 LPCVD 和 ALD（2025 年薄膜设备收入 5.06 亿元，同比增长 224.23%），拓荆补量检测、筹划收购无锡尚积。业务边界越模糊，正面撞车的机会越多，价格就越难守住。

一个可以作为旁证的数字：2025 年中国直接从美国进口的半导体设备只有 20 亿美元，同比下降超过 34%，为 2017 年以来最低；但从新加坡进口 57 亿美元、增长 17%，从马来西亚进口翻倍至 34 亿美元（《日经亚洲》援引中国海关记录）。海外设备仍然在场上，只是换了路径进来。国产厂商要抢的份额，对手并没有退出。

压力集中在成熟品类，增量机会在另一头。整个薄膜沉积里，ALD 是增速最快的一块。PW Consulting 和 QY Research 的测算落在同一区间：全球 ALD 设备市场 2025 年约 47—51 亿美元，2032 年约 92—111 亿美元，CAGR 11.5%—12%，高于薄膜沉积整体约 10% 的水平。驱动因素很具体：晶体管从 FinFET 转向 GAA，3D NAND 层数突破 300 层，HBM 通过 TSV 和混合键合垂直堆叠。这些结构都需要原子级的保形覆盖，只有 ALD 能做。

资本最先动的地方也在这里。2025 年 9 月，大基金三期通过子基金国投集新向拓荆键科增资不超过 4.5 亿元，持股约 12.71%，成为第二大股东；投前估值 25 亿元，而账面净资产只有 5521.98 万元，增值率 4427%（拓荆科技公告、证券时报）。拓荆键科主攻三维集成的 W2W/D2W 混合键合设备，2025 年上半年营收 114.55 万元、净亏损 3746.76 万元。大基金三期第一个公开的半导体产业项目，投给了一家几乎没有收入的公司，买的是它在三维集成设备上已经占住的位置。

同一份公告里还有拓荆 46 亿元的定增预案：17.68 亿元建高端半导体设备产业化基地，20 亿元做前沿技术研发。政策与资本的方向很清楚，重心从补齐短板转向后摩尔时代的三维集成。

资本愿意为一家几乎没有收入的公司出 25 亿元估值，理由在机器之外。半导体设备这门生意有个特点：机器造出来只走完流程的一小段，后面还押着三道关——能不能进产线、多久能验收、验收之后会不会复购。一台薄膜沉积设备从进厂到通过客户验证，通常需要 12—24 个月。这个周期不是审批流程造成的，而是工艺本身需要时间——不同材料、不同制程节点、不同器件结构下的成膜结果，要一层层试出来，攒成工艺数据库。

四巨头的地位因此很难撼动。客户掏钱买的，是几十年积累下来的工艺参数、失败案例和与客户产线的适配经验，硬件是交付这些经验的载体。国产厂商可以做出参数相近的机器，但要让客户相信它在 300 层 NAND 或 GAA 结构上的良率和稳定性，只能拿时间和数据去换。

另一层约束在更上游。高端射频电源、真空泵、高纯前驱体这些核心零部件和材料，仍主要由海外供应商把持。QY Research 的产业链梳理里，ALD 设备上游的关键供应商是 Entegris、CKD、VAT、Edwards、Pfeiffer、MKS、Horiba 等。国产设备厂在整机层面追赶的同时，还要面对自己的供应链被卡住的可能。

把这几层叠起来，就能理解为什么营收增长和毛利下滑会同时发生：国产厂商现在能做的，是用价格和交付速度去换验证机会，而验证本身是有成本的。也就能看清研微这类新公司站在什么位置。它成立于 2022 年 10 月，产品线覆盖热场 ALD、PEALD、PECVD、硅外延、碳化硅外延，另有原子层刻蚀技术储备。公开报道显示，公司 2023 年建成首条产线，2024 年设备进入客户验证，2025 年开始批量交付，2026 年拿到多品类复购订单；累计融资超过 22 亿元，最近一轮近 15 亿元，中电科产业基金、中车资本、京东方等产业方入股（腾讯证券、OFweek、C114 等多家媒体报道，未经官方证实的细节以公司公告为准）。

这家公司的价值在于它的组合方式。创始团队的 AMAT 背景保证了技术起点，全品类铺法让它能同时接逻辑、存储、功率、先进封装的活，产业方股东则把下游需求直接带进来——中车需要 SiC 外延做车规功率模块，京东方需要沉积设备做新一代面板产线。一个成立不到四年的公司，能在这么短时间里走完研发、建线、验证、复购这条链条，在国产设备初创里不多见。

放进前面的框架里看，它的位置也就清楚了：客户高度集中在少数头部晶圆厂，验证周期还没走完，经营现金流仍在投入期，议价权在客户那边。研微属于这个行业里技术稀缺、话语权弱势的一类，它需要被复购和毛利率证明的东西，和拓荆、中微当年面对的是同一道题。它只是一个样本，同一批站在验证期门口的国产薄膜设备公司还有不少，公开信息有限，本文不逐一列举。

这类公司值不值得继续跟，整个行业又走到哪一步，看三个指标比看营收有用。

1、毛利率的方向排第一。营收增长可以是降价换来的，毛利率才能说明这个行业是在创造价值，还是在转移价值。拓荆 2026 年一季度回升到 41.69%，是个好信号，但要看能不能稳住。

2、复购率比首台订单更值得看。首台设备进厂靠的是价格和机会，复购才说明工艺站住了。ALD 和混合键合在收入里的占比值得单独盯，这两块是结构性增量，占比变化能看出一家公司是在吃存量还是在抢增量。

3、最后一个指标最容易被混淆，是国产化率的口径。存量产线的国产占比是 16%—21%（Bernstein），新增产线国产设备的金额占比约 55%（工信部口径，媒体报道）。两个数字都不假，含义却完全不同：前者说明存量替换还早，后者说明增量替代很快。混着用会得出错误的乐观或悲观。

当然，这里有一个需要警惕的地方：把毛利率下降部分解释为价格战，可能仍然低估了新产品验证期的成本影响。拓荆2026年一季度毛利率已经回升到41.69%，如果未来几个季度继续回升，那么“价格战侵蚀利润”的判断就需要重新修正。

回到开头那组数字。营收涨、毛利跌，这个组合在制造业里通常意味着一件事：行业已经解决了有没有的问题，现在要回答的是值不值。薄膜沉积设备的国产替代走完了第一步——设备能造出来，也能进产线。难的是第二步：把这件事做成一门赚钱的生意。订单来了，但每一单都要付出价格或时间的代价。

这个剪刀差不会长期存在，它最终会由两种结局中的一种收场：要么国产厂商在先进制程上真正站住，把价格重新谈回来；要么价格战把整个国产替代的利润池压薄，最后只有两三家活得下来。

目前的数据支持哪一种，还看不出来。能确认的是，判断这个行业的尺度已经变了。接下来的问题只剩一个：国产设备能不能在不赔钱的前提下卖出去。