北京
国家知识产权局信息显示，苏州矽行半导体技术有限公司申请一项名为“物镜像差在线测试方法和测试系统”的专利，公开号CN122671122A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明提供了一种物镜像差在线测试方法和测试系统，属于显微光学测试领域，测试方法包括离轴照明与角谱生成、物镜收集与光瞳映射、参考干涉与相位提取、参数扫描与密集采样和波前重建与像差解算，方法基于光栅衍射光瞳能量分布，融合多组离散相位数据，计算得到物镜的像差参数；本申请利用二维反射光栅衍射光形成理想球面波前，无需高精度标准镜、标准球面反射镜或标准参考物镜，显著降低系统复杂度及制造成本；测试系统可集成到显微检测或成像系统，从而实现无需拆卸或更换物镜的在线像差检测；方法和系统适应于高NA物镜像差检测，干涉测量信噪比高，可在半导体晶圆级量检测、显微成像、光刻等领域推广应用。
天眼查资料显示，苏州矽行半导体技术有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本14029.1806万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州矽行半导体技术有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息79条，此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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