北京
国家知识产权局信息显示，四川至臻精密光学有限公司申请一项名为“一种宽口径射频离子源装置”的专利，公开号CN122677365A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种宽口径射频离子源装置，包括主体盘，主体盘上设置有陶瓷进气装置，陶瓷进气装置上设置有陶瓷放电室，陶瓷放电室内设置有放电阳极，陶瓷放电室外部环绕有耦合线圈，陶瓷放电室上部设有组合栅网，主体盘下方设有安装背板，安装背板上设置有射频线缆接头与高压电极，射频线缆接头连接耦合线圈，高压电极分别连接放电阳极和组合栅网；本发明可提供一种无污染、加工面积大，且性能稳定的射频离子源，整体采用全陶瓷气路与放电室结构构成全陶瓷放电腔体，电离过程无金属溅射，彻底消除金属杂质污染，满足半导体、超精密光学高洁净加工标准，通过将约束磁场、射频匹配网络与冷却、进气系统集成化设计，实现了装置小型化。
天眼查资料显示，四川至臻精密光学有限公司，成立于2016年，位于成都市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本581.6903万人民币。通过天眼查大数据分析，四川至臻精密光学有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目86次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息37条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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