卓海科技取得相机调节装置相关专利，五轴六自由度调节相机消误差

来源：新浪证券-红岸工作室

8月29日消息，国家知识产权局信息显示，无锡卓海科技股份有限公司申请一项名为“相机调节装置”的专利，授权公告号CN224694262U，授权公告日为2026年8月28日。申请号为CN202521937383.5，申请公布日期为2026年8月28日，申请日期为2025年9月9日，发明人高为达、相宇阳、俞胜武，专利代理机构北京品源专利代理有限公司，专利代理师廖微，分类号F16M11/12、F16M13/02、G03B17/56。

专利摘要显示，本实用新型涉及晶圆检测技术领域，公开一种相机调节装置，装配底座上设置有安装立柱，相机模块通过相机调节模块设置在安装立柱上；相机调节模块包括三个转动台和两个位移台，三个转动件分别以X轴、Y轴和Z轴三个方向为轴相对于对应的固定座转动，通过五轴实现六个自由度的运动，可调节相机模块的安装角度；两个移动件分别能沿X轴、Y轴和Z轴三个方向中的一个方向与两个方向相对于对应的固定座滑动，可精确调节相机模块的安装位置，提供六个自由度的量化调节条件，调节操作简单可控，满足相机模块与晶圆载台定位所需的同轴位置与平行位置，以消除相机模块的中心和晶圆载台的中心误差与相机模块和晶圆载台的平行度误差。

天眼查数据显示，无锡卓海科技股份有限公司成立日期2009年6月3日，法定代表人相宇阳，所属行业为专用设备制造业，企业规模为小型，注册资本7168.6725万人民币，实缴资本6206.7万人民币，注册地址为无锡市新吴区珠江路97号。无锡卓海科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目138次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息189条，拥有行政许可44个。

无锡卓海科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种晶圆卡盘检测方法和装置发明专利公布CN202610646602.72026-05-12CN122476884A2026-07-28俞胜武、相宇阳2一种掺镨可见光激光器及其调试方法发明专利公布CN202610624246.92026-05-08CN122456279A2026-07-24熊梦园、相宇阳、陈剑3一种晶圆动态响应分析方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610554019.32026-04-24CN122490723A2026-07-31刘明东、相宇阳、俞胜武4测量装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610436313.42026-04-03CN122408582A2026-07-17魏坤、相宇阳、俞胜武5吸附装置、半导体量测设备及晶圆吸附方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610340258.92026-03-19CN122249023A2026-06-19张林、相宇阳、俞胜武6真空烘烤平台、控制系统、控制方法和存储介质发明专利公布CN202511810206.52025-12-03CN121641779A2026-03-10耿晓杨、相宇阳、戴金方7一种薄膜厚度测量装置及方法发明专利授权CN202511758712.42025-11-27CN121383875B2026-07-21李响、相宇阳、俞胜武8一种探针偏差校准方法、装置和计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511682299.82025-11-17CN121276421A2026-01-06刘娜、相宇阳、俞胜武9一种晶圆缺陷检测方法、设备和存储介质发明专利授权CN202511640112.82025-11-11CN121090560B2026-03-24阿民、相宇阳、俞胜武10晶圆几何形貌测量方法、装置、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511566630.X2025-10-30CN121437603A2026-01-30华沁怡、相宇阳、俞胜武11一种信号采集电路及信号采集装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511566088.82025-10-30CN121441309A2026-01-30王文超、相宇阳、耿晓杨12一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511398856.32025-09-28CN121164314A2025-12-19阿民、相宇阳、俞胜武13一种缺陷检测设备和晶圆位置定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511361836.92025-09-23CN121114049A2025-12-12刘娜、相宇阳、俞胜武14一种薄膜厚度的检测方法及装置发明专利授权CN202511301975.22025-09-12CN121163387B2026-07-24华沁怡、相宇阳、俞胜武15相机调节装置实用新型授权CN202521937383.52025-09-09CN224694262U2026-08-28高为达、相宇阳、俞胜武16一种设备通信方法、设备、通信系统、介质及产品发明专利公布CN202511205312.02025-08-27CN120768714A2025-10-10陈明习、相宇阳、俞胜武17一种颗粒晶圆制备设备及方法发明专利公布CN202511201255.92025-08-26CN120992288A2025-11-21陈剑、相宇阳、俞胜武18一种测量方法发明专利授权、公布CN202511141034.72025-08-15CN120627924B2025-10-24葛正、相宇阳、俞胜武19一种薄膜微型特征的测量装置及测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511132462.32025-08-13CN121141585A2025-12-16徐晨瑜、相宇阳、俞胜武20一种光声膜厚量测设备及晶圆角度对准方法发明专利授权、公布CN202511046316.92025-07-29CN120558101B2025-10-17胡杨、相宇阳、俞胜武21一种探头及接触式轮廓仪实用新型授权CN202521541098.12025-07-23CN224455665U2026-07-03邵倩倩、相宇阳、俞胜武22测量点位的确定方法、装置、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510957615.12025-07-11CN120565439A2025-08-29戴丹蕾、相宇阳、俞胜武23一种晶圆表面检测装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510957017.42025-07-11CN120854330A2025-10-28陈剑、相宇阳、俞胜武24一种晶圆检测系统和晶圆检测方法发明专利公布CN202510869327.02025-06-26CN120668679A2025-09-19郭庆丰、相宇阳、俞胜武25一种半导体控制器测试系统及测试方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202510804491.32025-06-17CN120315429A2025-07-15王子颖、相宇阳、陈学文26检测辅助载具实用新型授权CN202521080867.22025-05-29CN224266848U2026-05-22俞胜武、相宇阳、陈剑27一种传输设备的运动模拟装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510656068.32025-05-21CN120254459A2025-07-04耿晓杨、相宇阳、戴金方28一种电子枪保护装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510602767.X2025-05-12CN120433124A2025-08-05耿晓杨、相宇阳、戴金方29一种晶圆的寻边装置及方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510546234.42025-04-28CN120356860A2025-07-22周擎天、相宇阳、俞胜武30一种晶圆缺陷检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510544242.52025-04-28CN120473402A2025-08-12王世俊、相宇阳、俞胜武31一种光程自动检测校准装置、方法及半导体设备发明专利公布CN202510471399.X2025-04-15CN120300049A2025-07-11俞天皓、相宇阳、俞胜武32一种晶圆的缺陷检测装置及方法发明专利授权CN202510438634.32025-04-09CN120160984B2025-11-18陈烨伟、相宇阳、俞胜武33一种光电倍增管的校准装置和校准方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510407147.02025-04-02CN120232515A2025-07-01阿民、相宇阳、俞胜武34一种薄膜应力检测装置及系统实用新型授权CN202520607337.22025-04-02CN223870219U2026-02-03周擎天、相宇阳、俞胜武35一种电子元器件替换型号确定方法、设备及产品发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510377524.02025-03-28CN119890101B2025-06-17周楠、相宇阳、戴金方36一种接触式表面形貌测量装置实用新型授权CN202520564813.72025-03-28CN223856393U2026-01-30苏恒中、相宇阳、陈剑37一种接触式表面形貌测量装置实用新型授权CN202520585293.82025-03-28CN223856394U2026-01-30苏恒中、相宇阳、陈剑38晶圆装夹机构及四探针电阻测量装置实用新型授权CN202520471950.62025-03-18CN223899686U2026-02-10武岩、相宇阳、俞胜武39兼容型开放式晶圆盒装载装置发明专利授权、公布CN202510312325.12025-03-17CN119905440B2025-11-07魏坤、相宇阳、俞胜武40一种台阶仪载台调平装置及台阶仪实用新型授权CN202520446660.62025-03-14CN223677455U2025-12-16魏坤、相宇阳、俞胜武41探针锁紧检测工装及探针电阻测量仪实用新型授权CN202520314021.42025-02-26CN223611577U2025-11-28王焕、相宇阳、俞胜武42一种晶圆装载设备调试系统及方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411995075.82024-12-31CN119861694A2025-04-22陈学文、相宇阳、戴金方43一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411878098.02024-12-19CN119642743B2025-08-15阿民、相宇阳、俞胜武44一种适用晶圆缺陷检测的回转装置发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411619161.92024-11-13CN119310004A2025-01-14刘明东、相宇阳、俞胜武45一种薄膜厚度测量方法、装置、电子设备、存储介质及计算机程序产品发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411610250.72024-11-12CN119517771B2025-08-15李响、相宇阳、俞胜武46基于机器视觉的晶圆校准方法、装置、设备和介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411577024.32024-11-06CN119446999B2025-07-29王世俊、相宇阳、俞胜武47一种台阶仪系统发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411562892.42024-11-05CN119063680A2024-12-03陈烨伟、相宇阳、俞胜武48一种晶圆图形台阶高度测量方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411544559.02024-10-31CN119493938A2025-02-21林晓坤、相宇阳、俞胜武49一种镜片安装装置实用新型授权CN202422642052.02024-10-30CN223297201U2025-09-02高强、相宇阳、陈剑50一种激光耦合装置及激光器实用新型授权CN202422579307.32024-10-24CN223180476U2025-08-01王海龙、相宇阳、陈剑