国家知识产权局信息显示,上海鲲游科技有限公司申请一项名为“压印工艺与刻蚀工艺的对准方法”的专利,公开号CN122613649A,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,本发明提供了一种压印工艺与刻蚀工艺的对准方法,通过在压印母版上设置光学结构区域和标记区域,通过预先确定压印母版在压印前后的相对位置关系,使得压印后的结构与刻蚀工艺能够精准对准,将压印工艺映射到刻蚀工艺中,避免了传统工艺中可能出现的对准误差,可以精确地控制不同区域的实际刻蚀深度,避免了传统刻蚀工艺应用于压印刻蚀工艺时出现的过度刻蚀或刻蚀不足的问题;这显著提高了压印与刻蚀工艺之间的对准精度,减少了因对不准导致的结构缺陷或性能下降,减少了因对准和深度调制所需的时间和资源,简化了工艺流程,减少了人为因素的干扰,提高了刻蚀整体工艺效率,提高了衍射光栅在刻蚀时不同刻蚀深度位置的质量和一致性。
天眼查资料显示,上海鲲游科技有限公司,成立于2019年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海鲲游科技有限公司参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息252条,此外企业还拥有行政许可29个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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