北京
国家知识产权局信息显示，安徽曦融兆波科技有限公司申请一项名为“一种ICP刻蚀机上电极石英窗温控系统及温控方法”的专利，公开号CN122614135A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种ICP刻蚀机上电极石英窗温控系统及温控方法，温控系统包括有温差发电模块、冷端温度基准组件、温差电路模块、温度检测单元和控制器，温差发电模块的热端和冷端分别与上电极石英窗、冷端温度基准组件热耦合，上电极石英窗、温差发电模块的冷端和热端上均设置有对应的温度检测单元，温差电路模块包括有电压采样电路和可控取能电路，电压采样电路的电压输出端、可控取能电路的可控输入端、温度检测单元、热风恒温单元的控制端、风扇的控制端均与控制器连接。本发明实现了热负荷前馈检测和可控辅助取能的功能，在不同工况下既能提供与上电极石英窗热负荷变化相关的电信号，又能提供低功率电能给ICP刻蚀机的风扇进行驱动。
天眼查资料显示，安徽曦融兆波科技有限公司，成立于2022年，位于合肥市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本920.1217万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽曦融兆波科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目31次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息29条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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