ASML猝不及防，三星正式表态，外媒：台积电终于松了一口气

ASML最近可能有点郁闷，自己花十几年、砸了无数研发经费搞出来的High-NA EUV光刻机没人买了。其中台积电表示太贵了不买，三星比较委婉，表示等几年再说。更让ASML尴尬的是，这两位客户的表态，反而让他们彼此之间的竞争格局变得更清晰了。对此，有外媒表示：台积电终于松了一口气。

一、台积电对High-NA EUV光刻机并不感冒

台积电对High-NA EUV的态度，其实已经摆了很久了。早在2024年第三季度，台积电就接收了首台High-NA EUV光刻机，这台光刻机被安置在研发中心，用于开发下一代工艺的基础光刻技术。但买归买，用归用，台积电从头到尾的态度都很明确，这东西太贵了，现在不适合上生产线。

其实台积电并不是买不起，只是觉得这笔账不划算。据悉，一台High-NA EUV光刻机售价4亿美元，是现有EUV设备的两倍多。而且更换High-NA EUV光刻机的成本远不止设备本身，它需要对整条产线的配套设备、工艺流程、材料体系进行调整，这些隐性成本加在一起远远超过4亿美元这个价格。更重要的是，High-NA EUV采用变形光学设计，单场曝光面积只有常规EUV的一半，做大芯片需要分两次拼接曝光，掩模板和机时成本直接翻倍。

对台积电来说，手里的EUV设备通过优化多重曝光工艺，完全能够把2nm、1.4nm甚至更先进的节点推进下去，没必要花四倍的钱去买一个锦上添花的设备。

二、三星的表态，更是让ASML雪上加霜

如果说台积电的不买已经让ASML不太舒服了，那三星最近的表态，可以说是又补了一刀。近日，三星电子半导体研究院晶圆代工工艺开发团队高管正式表态，三星计划在1nm级工艺制程节点才实现High-NA EUV的商业化大规模应用。这意味着什么呢？三星原来计划在1.4nm的SF1.4节点就引入High-NA EUV，现在直接推迟到了1nm，这意味着三星购买High-NA EUV光刻机将推迟到2030年左右。

其实三星已经买了两台High-NA EUV光刻机了，第一台2025年安装在华城园区，第二台2026年上半年到位，两台加起来投入超过1万亿韩元。但这两台机器目前只用于研发和试产，完全没有进入大规模量产的打算。

为什么不量产？一方面是技术成熟度的问题，另一方面是三星的代工业务从2022年开始就一直处于亏损状态。代工业务连亏四年，眼看着今年第四季度有望扭亏为盈，这个时候把High-NA EUV这种天价设备全面导入产线，折旧费用和运营成本会直线上升，好不容易要见到的曙光又会被压回去。说白了，三星现在的态度跟台积电如出一辙，那就是它们知道High-NA EUV很强大，但就是不划算。

三、台积电、三星都不买，ASML可能有些猝不及防

台积电、三星两大客户都表态不急着买，这多少会让ASML有些猝不及防。目前明确在商业化生产中使用High-NA EUV的，只有英特尔一家。但英特尔自己的代工业务还在起步阶段，订单量有限，单靠英特尔一家的采购量，远远撑不起High-NA EUV的商业化预期。

更让ASML头疼的是，台积电是它最大的客户，全球先进制程市场份额超过70%。如果台积电长期拒绝采购High-NA EUV，ASML指望靠这款新设备拉动营收增长的算盘就落空了大半。

此前ASML为了推广High-NA EUV，甚至不得不进行内部裁员超过1700人，精简管理层。虽然公司表示会继续招聘新员工，但裁员本身已经反映出市场对High-NA EUV销售预期的不确定性。所以从长远来看，如果连台积电、三星这两个最大的客户都不着急购买，那么ASML的High-NA EUV商业化之路确实会比预期更漫长。

四、台积电终于松了一口气

有意思的是，三星推迟High-NA EUV的表态，对台积电来说反而是个好消息。为什么？因为这意味着三星在短时间内，很难在先进工艺上真正追上台积电。

先进制程的竞争，从来不只看节点名称，更看良率、产能和客户信任。台积电在2nm制程上已经全面量产，2026年第二季度2nm贡献了约3%的晶圆收入。到2028年底，台积电2nm加3nm总月产能有望达到40万片，大约是英特尔同期产能的10倍。

三星呢？2nm良率据说刚爬到55%左右，离稳定量产的60%门槛还差一截。1.4nm要到2029年才能量产，1nm更是要等到2030年。而且三星原本可以在1.4nm节点就通过引入High-NA EUV来缩小跟台积电的差距，毕竟High-NA EUV能减少多重曝光次数、提升图案化精度，理论上可以帮三星在制程上更快追赶。但现在三星自己把这条路推迟到了2030年，这等于主动放弃了在1.4nm节点上利用新设备弯道超车的机会。

对台积电来说，这就意味着从现在到2030年的这四五年里，三星在先进制程上的追赶速度会比预期更慢。台积电可以继续用成熟的EUV多重曝光工艺稳步推进1.4nm和更先进节点，而不需要担心三星靠新设备突然发力。也正因为如此，有外媒才表示：台积电终于松了一口气，它在芯片代工领先地位仍然难以撼动。

五、写在最后

台积电和三星同时对High-NA EUV光刻机说不，表面上看是ASML的挫折，深层看是整个半导体行业在技术先进性和经济合理性之间做出的务实选择。说白了，再先进的设备，如果用着不划算，那么它就只能躺在实验室里。

而在这场设备博弈的背后，台积电的领先优势反而被进一步巩固了。三星推迟High-NA EUV的导入，等于在最关键的窗口期给了台积电更多喘息空间。而在这段空窗期里，台积电依然可以稳稳地坐在全球芯片代工的王座上。