辽宁
近日，由人社部和安徽省人民政府联合主办的“创赢未来”创业大赛全国总决赛在合肥市落下帷幕。鹏城微纳技术（沈阳）有限公司（以下简称“鹏城微纳”）凭借隧道连续式高真空磁控溅射镀膜封装设备项目，荣获“科技成果+创业赛道”全国总决赛三等奖，稳步走完省级选拔赛晋级全国赛场的完整赛程。
大赛以“释放创业动能 圆梦出彩人生”为主题，共吸引全国6.7万个创业项目报名参赛。鹏城微纳参赛项目依托哈尔滨工业大学技术积淀，聚焦半导体薄膜制备领域的国产化痛点，主推自主研发的隧道连续式高真空磁控溅射镀膜封装设备（PVD镀膜设备）。该设备适配多场景镀膜加工需求，兼顾工艺稳定性与量产效率，能够为科研机构、半导体生产企业提供设备定制、工艺打样、产线升级改造等配套服务。
隧道连续式高真空磁控溅射镀膜封装设备
鹏城微纳为鹏城半导体技术（深圳）有限公司全资子公司，落地沈阳深耕微纳技术与高端精密制造，是当地重点扶持培育的新质生产力企业。团队由哈工大教授、博士领衔的核心研发力量，高水平材料与工艺研究团队，以及拥有30余年工业界经验的装备设计师团队联合组建，长期深耕微纳技术、精密制造及原子级制造。公司已落地多款自研PVD镀膜设备，涵盖生产型 TGV/TSV/TMV高真空磁控溅射镀膜机、生产型 高真空磁控溅射/离子辅助/多弧复合镀膜机、生产型 高真空磁控溅射及离子辅助复合镀膜机、科研型 高真空磁控溅射镀膜机、高真空电子束蒸发镀膜机、高真空电阻热蒸发镀膜机等；同时布局CVD沉积设备，包含PECVD 等离子体增强化学气相沉积设备、大尺寸金刚石薄膜制备设备（HFCVD 热丝化学气相沉积设备）等，助力推进产业链关键环节国产化。
本次全国总决赛获奖，既是行业对企业技术实力、项目产业化落地潜力的权威认可，也是企业阶段性创新研发成果的有力总结。下一步，鹏城微纳将持续发挥产学研协同创新优势，迭代打磨现有装备产品、推进产线扩建，持续拓宽商业化应用场景，以持续技术攻坚赋能区域高端制造产业高质量发展。
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