北京
国家知识产权局信息显示，上海励兆科技有限公司申请一项名为“一种用于铝腔远程等离子体源的无辅助气体点火方法及装置”的专利，公开号CN122552417A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本发明公开一种用于铝腔远程等离子体源的无辅助气体点火方法及装置，属于半导体制造设备技术领域。该方法包括：向反应腔内充入目标工艺气体并稳定在第一压强P1；开启点火，同步将压强从P1动态降压至第二压强P2；在压强趋近P2时击穿点火成功；等离子体稳定后回升至工艺压强P3。动态降压速率不低于5 Torr/s，P2为0.01‑0.25 Torr，点火电压1.5‑2 kV。本发明通过动态降压抑制电子能量弛豫，无需氩气即可实现多原子分子气体可靠点火，降低生产成本，减少腔体损伤。
天眼查资料显示，上海励兆科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本473.6255万人民币。通过天眼查大数据分析，上海励兆科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息21条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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