国家知识产权局信息显示,陕西铟杰半导体有限公司申请一项名为“基于过程参数预测的多芯磷化铟多晶合成方法及系统”的专利,公开号CN122484909A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明属于深度学习技术领域,具体涉及一种基于过程参数预测的多芯磷化铟多晶合成方法及系统,方法:在升温期辨识各安瓿的局部热惯性指数并作为个体化基态修正因子;构建个体趋势和互扰偏移双通路,个体通路融合修正因子与动态过程参数经门控时序单元得到个体初步预测温度,互扰通路通过互扰关注度机制生成非对称权重并加权聚合得到偏移修正分量,由门控系数融合输出最终预测温度;计算偏移分量的均方根作为发散度,超阈值则利用预测偏差与耦合矩阵伪逆求取前馈功率,叠加反馈控制实现前驱补偿。本发明降低热惯性差异带来的个体预测偏差,通过前驱补偿抑制热场发散,提升产品一致性。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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