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观点网讯：先导科技集团宣布，7月30日，江苏先导微电子自主研发的首台Star600-EOSS 12寸高端精密光学磁控溅射量产设备，在江苏徐州高新区生产基地完成设备组装、联调，成功通过自动化与工艺验证，正式交付国内头部晶圆厂。
据先导科技集团表述，此次交付标志着公司在高端晶圆级光学镀膜装备领域实现了从研发、制造到产业化交付的重要突破。
资料显示，Star600-EOSS 是基于集团现有技术能力进行研发的高端晶圆级精密光学磁控溅射设备，通过集团的核心专利、工艺数据库及整机设计体系，江苏先导成功实现了国际先进技术的工程化落地，并结合自身研发能力完成了工艺适配优化，为高端光学薄膜制造提供了硬核装备支撑。
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