国家知识产权局信息显示,长鑫新桥存储技术有限公司申请一项名为“套刻误差补偿值确定方法及装置、电子设备与程序产品”的专利,公开号CN122469576A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本公开是关于一种套刻误差补偿值确定方法及装置、电子设备与程序产品,涉及半导体制造技术领域。该方法包括:基于晶圆的量测配方图确定基准量测单元,确定基准量测单元的当层图形与前层图形之间的第一边缘距离量测值;根据第一边缘距离量测值确定基准量测单元对应的中心位置基准值;确定晶圆中目标量测单元的当层图形与前层图形之间的第二边缘距离量测值;根据中心位置基准值与第二边缘距离量测值,确定目标量测单元的当层与前层之间的套刻误差补偿值。本公开主要应用于当层图形与前层图形之间存在中间图层遮挡的特殊图形结构中,旨在解决因遮挡导致的量测困难问题,从而提升套刻精度和产品良率。
天眼查资料显示,长鑫新桥存储技术有限公司,成立于2021年,位于合肥市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本5395371.51069万人民币。通过天眼查大数据分析,长鑫新桥存储技术有限公司参与招投标项目145次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息29条,此外企业还拥有行政许可45个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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