国家知识产权局信息显示,华虹集成电路(成都)有限公司申请一项名为“检测FOUP内有无晶圆的方法”的专利,公开号CN122476852A,申请日期为2026年4月。
专利摘要显示,本申请提供一种检测FOUP内有无晶圆的方法,包括:步骤一,将待清洗的FOUP门板朝下置于设置有检测装置的机台缓冲单元上,步骤二,FOUP的门板开启后,抬升FOUP的本体,使FOUP的本体和门板之间存在间隙;步骤三,检测装置基于从该间隙往返的激光的亮度值差异判定FOUP内有无晶圆。精确检测晶圆有无,从而确保有晶圆的FOUP不会进入机台的清洗作业。
天眼查资料显示,华虹集成电路(成都)有限公司,成立于2023年,位于成都市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2280000万人民币。通过天眼查大数据分析,华虹集成电路(成都)有限公司参与招投标项目156次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息67条,此外企业还拥有行政许可129个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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