京仪自动化取得半导体温控设备相关专利，半导体温控可提速防超调

来源：新浪证券-红岸工作室

7月25日消息，国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“半导体温控方法、装置及半导体温控设备”的专利，授权公告号CN117930906B，授权公告日为2026年7月24日。申请公布号为CN117930906A，申请号为CN202311863902.3，申请公布日期为2026年7月24日，申请日期为2023年12月29日，发明人顾晓虎、郑璐、何茂栋、董春辉、耿海东、孙硕、张涵、鲁元进，专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司，专利代理师张金玲，分类号G05D23/20。

专利摘要显示，本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种半导体温控方法、装置及半导体温控设备，半导体温控方法包括获取回液温度和设定温度；基于所述回液温度和所述设定温度，确定温控设备的运行模式；基于所述运行模式，控制所述温控设备的工作参数；其中运行模式包括：比例控制模式和反馈控制模式。通过回液温度与设定温度差距大时采用比例控制模式，有效提高温控设备的响应速度；当供液温度接近设定温度时，仅在回液温度与设定温度差距小时使用反馈控制模式，有效减少了积分时间，进而避免或降低了反馈控制模式下温控设备发生温度超调的可能。

京仪装备是国内半导体专用温控、废气处理等细分设备领域的领先厂商，具备深厚的技术积累与国产化替代优势。公司成立于2016年6月30日，于2023年11月29日在上海证券交易所上市，注册及办公地点均位于北京市。

公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，主营产品覆盖半导体专用温控设备（Chiller）、半导体专用工艺废气处理设备（Local Scrubber）和晶圆传片设备（Sorter），所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，同时涵盖北京国资、中芯国际概念、半导体设备三大概念板块。

2025年，京仪装备实现营业收入14.26亿元，在26家同行业可比公司中排名第13位，当期营收规模略高于行业中位数13.86亿元，低于行业平均水平40.12亿元，同期行业内营收排名前两位的企业分别为北方华创（393.53亿元）、中微公司（123.85亿元）。营收结构方面，半导体专用温控设备贡献收入9.37亿元，占总营收比重65.70%；半导体专用工艺废气处理设备收入3.48亿元，占比24.41%；零配件及支持性设备收入8356.41万元，占比5.86%；晶圆传片设备收入3564.42万元，占比2.50%；维护、维修等服务收入2143.38万元，占比1.50%；废品出售收入53.66万元，占比0.04%。同期公司实现净利润1.48亿元，行业排名第14位，略低于行业中位数1.62亿元，远低于行业平均水平5.9亿元，同期行业净利润前两位企业分别为北方华创（54.09亿元）、中微公司（20.64亿元）。

指标类别具体指标京仪装备当期数值行业排名/总家数行业首位企业数值行业第二位企业数值行业平均数行业中位数营收表现2025年营业收入14.26亿元13/26北方华创393.53亿元中微公司123.85亿元40.12亿元13.86亿元营收结构半导体专用温控设备9.37亿元，占比65.70%营收结构半导体专用工艺废气处理设备3.48亿元，占比24.41%营收结构零配件及支持性设备8356.41万元，占比5.86%营收结构晶圆传片设备3564.42万元，占比2.50%营收结构维护、维修等服务2143.38万元，占比1.50%营收结构废品出售53.66万元，占比0.04%利润表现2025年净利润1.48亿元14/26北方华创54.09亿元中微公司20.64亿元5.9亿元1.62亿元

北京京仪自动化装备技术股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种应用于多级负叠式冷冻机中的热量调控方法及系统发明专利公布CN202610792781.52026-06-03CN122447856A2026-07-24丁金龙2一种EUV工艺废气处理装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610570920.X2026-04-28CN122107404A2026-05-29宁腾飞、许信、张京华、王帅、杜佳亮、于浩辉、于贺杰、闫潇、赵明杰、周光飞、王贤麟、张坤、杨春水3一种EUV工艺废气处理装置及方法发明专利授权CN202610570921.42026-04-28CN122107405B2026-07-24宁腾飞、席涛涛、张京华、杨春涛、王帅、于浩辉、杜佳亮、闫潇、周光飞、赵明杰、王贤麟、张坤、杨春水、丁树园4一种自锁安全控制电路发明专利公布CN202610498786.72026-04-15CN122363004A2026-07-10陈富强、杨子臣、丁金龙、陈杰、董红臣5洁净机器人末端执行器的恒力控制方法与系统发明专利公布CN202610462902.X2026-04-09CN122401381A2026-07-17吕忠伟6半导体制程废气的处理装置及其方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610395587.32026-03-27CN122209185A2026-06-16王松7一种用于宽流量范围氢气废气的焚烧方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610382924.52026-03-26CN122281296A2026-06-26杨春涛、席涛涛、杨春水、张坤8一种全氟化合物的处理方法、系统、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610299380.62026-03-12CN122183346A2026-06-12于贺杰、席涛涛、宁腾飞、杨春涛、蔡传涛、杨琪9一种半导体废气处理系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610235623.X2026-02-27CN121927390A2026-04-28于贺杰、席涛涛、杨春涛、宁腾飞、蔡传涛、杨琪、张坤10一种复合涂层及其制备方法与应用发明专利公布CN202610235144.82026-02-27CN122358277A2026-07-10刘玮、李国生、杨春水11半导体温控器外观专利授权CN202630087955.92026-02-26CN310111375S2026-07-24刘博、王雪飞12半导体温控器外观专利授权CN202630087773.12026-02-26CN310111374S2026-07-24李祥法、李嘉明、蔡永华13一种爪式转子结构发明专利实质审查的生效、公布CN202610225271.X2026-02-25CN121932378A2026-04-28王继飞14一种爪式转子结构发明专利实质审查的生效、公布CN202610225270.52026-02-25CN121952869A2026-05-01王继飞15一种废气处理设备进气装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610173060.62026-02-06CN121782583A2026-04-03张京华、宁腾飞、张坤、杨春水16燃烧水洗式半导体废气处理装置和废气处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610176098.92026-02-06CN122216621A2026-06-16于贺杰、王继飞、张坤、宁腾飞、杜佳亮17一种晶圆映射机构及晶圆存储系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610167198.52026-02-05CN121985765A2026-05-05李宁宁18电子膨胀阀驱动装置和制冷设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610137006.62026-01-30CN122015350A2026-05-12陈杰19晶圆缓存设备及其防撞控制方法和晶圆生产线发明专利实质审查的生效、公布CN202610075841.12026-01-20CN122138655A2026-06-02吕维迪、孙敬雷、梁小影20机器人、晶圆缓存设备和晶圆盒的抓取方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610075302.82026-01-20CN122161391A2026-06-05吕维迪、孙敬雷、梁小影21一种晶圆真空吸附机械手发明专利实质审查的生效、公布CN202610066231.52026-01-19CN121888921A2026-04-17李宁宁22重复定位精度的检测设备及检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610062878.02026-01-16CN122094467A2026-05-26孙晓东23一种机械手奇异点控制方法、装置、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610011983.12026-01-06CN121515214A2026-02-13梁小影、吕维迪24一种晶圆存储盒及使用方法发明专利公布CN202610006507.02026-01-05CN121815997A2026-04-07赵佳强、赵雷、张朝阳、韩立昌25半导体温控器外观专利授权CN202630002328.02026-01-05CN310111288S2026-07-24李康英、陶振友26一种基于多通道阵列的温度控制方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610002110.42026-01-04CN121857866A2026-04-14杨子臣、丁金龙、周亮27半导体温控系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610002223.42026-01-04CN121855115A2026-04-14何滔28真空机械手指的测试装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610002083.02026-01-04CN121877300A2026-04-17李宁宁29工业设备的通信方法、装置、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610002138.82026-01-04CN122053715A2026-05-15石尚、丁金龙、徐鑫伟、陈杰、董红臣30用于真空泵吹扫的气体检测装置及气体检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610002245.02026-01-04CN122041960A2026-05-15刘飞腾、丁金龙、杨子臣、陈富强31一种位置示教装置及示教方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610002279.X2026-01-04CN122069979A2026-05-19杜子豪、杨森元32近机台缓存设备外观专利授权CN202630000893.32026-01-04CN310113703S2026-07-24吕维迪、孙敬雷33一种废气处理设备的压力控制方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511901562.82025-12-16CN121764223A2026-03-31张昱翀、高智雪、于贺杰、宗国泰、刘昭雲、谷存帅34一种交错并联Buck变换器的均流控制系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511819611.32025-12-04CN121585005A2026-02-27石尚、丁金龙、徐鑫伟、陈杰、廖博轩35半导体工业废气处理方法及系统发明专利授权CN202511785798.X2025-12-01CN121222235B2026-03-03于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞、杨琪36基于等离子活化水的NO发明专利授权CN202511785801.82025-12-01CN121222249B2026-03-27于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞37基于预测的半导体工艺温度控制方法、装置及电子设备发明专利公布CN202511772484.62025-11-28CN121680516A2026-03-17薛山、于浩、周亮、张浩38无接触式气悬浮超薄晶圆翻片装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511772490.12025-11-28CN121772666A2026-03-31侯宝江39水箱组件、废气处理设备及废气处理控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511732628.52025-11-24CN121371852A2026-01-23杨春涛、席涛涛、乔伟超、张坤、杨春水40半导体温控设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511729217.02025-11-24CN121742553A2026-03-27张浩41晶圆物料盒和晶圆物料盒支撑架发明专利公布CN202511723355.82025-11-21CN121665992A2026-03-13张朝阳、赵雷、李宁宁42一种晶圆储料器发明专利授权CN202511705951.32025-11-20CN121171945B2026-03-06吕忠伟、孙敬雷43一种晶圆储料装置发明专利公布CN202511710701.92025-11-20CN121626582A2026-03-10赵雷44等离子火炬（PW3000）外观专利授权CN202530685386.32025-11-20CN310018973S2026-06-05章文军45等离子火炬（PW1000）外观专利授权CN202530684599.42025-11-20CN310018972S2026-06-05章文军46废气处理设备仿真模拟试验平台外观专利授权CN202530685700.82025-11-20CN310055412S2026-06-26许信47废气处理设备试验测试平台外观专利授权CN202530685594.32025-11-20CN310051783S2026-06-26许信48一种废气处理设备的监控方法、系统、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511683863.82025-11-17CN121411371A2026-01-27王潇、徐鑫伟、丁金龙、杨子臣49晶圆倒片机的校点装置及方法、电子设备、存储介质和计算机程序产品发明专利公布CN202511677080.92025-11-14CN121693064A2026-03-17韩九阳50氢气废气处理设备外观专利授权CN202530673856.42025-11-14CN310053990S2026-06-26张京华、宁腾飞