国家知识产权局信息显示,清软微视(杭州)科技有限公司申请一项名为“一种晶圆正背面同步检测的检测方法”的专利,公开号CN122438555A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本申请涉及一种晶圆正背面同步检测的检测方法,包括以下步骤:在晶圆的正面建立背景噪声模板S(t),并确定多个检测点;将脉冲激光聚焦于所述检测点,形成声波;在第一时间窗口内,检测所述检测点处的返回声波引起的声光相位调制,采集声光反射信号F;将所述声光反射信号F与所述背景噪声模板S(t)进行对比,判断所述检测点是否具有污渍;当所述检测点不具有污渍时,滤除所述检测点的数据;当所述检测点具有污渍时,判定所述检测点存在有效声波;根据所述声光反射信号F获取晶圆的背面平整度信息。本发明能够同时对晶圆正面以及背面进行检测。
天眼查资料显示,清软微视(杭州)科技有限公司,成立于2022年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1157.894737万人民币。通过天眼查大数据分析,清软微视(杭州)科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目14次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息39条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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