北京
国家知识产权局信息显示，无锡亘芯悦科技有限公司申请一项名为“一种垂向运动装置、控制方法及半导体设备”的专利，公开号CN122438543A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明涉及一种垂向运动装置、控制方法及半导体设备，属于半导体设备技术领域。该垂向运动装置包括宏微动机构，包括依次滑动连接的底板、第一楔形块和第二楔形块，以及与第一楔形块驱动连接的驱动结构；顶升机构，置于第一楔形块和第二楔形块内，包括顶升板、滚轮，以及安装在第一楔形块上的顶升滑块，顶升滑块通过滚轮与顶升板连接；驱动结构通过驱动第一楔形块带动顶升滑块移动，滚轮沿顶升滑块移动，从而带动顶升板做垂向运动；驱动结构驱动第一楔形块移动，以使第二楔形块做垂向宏动运动和微动运动。采用楔形机构可以用更小的输出力带动更大的负载运动，同时极大的减小了Z运动方向的高度，使结构更加紧凑，便于模块化集成。
天眼查资料显示，无锡亘芯悦科技有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2237.4682万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡亘芯悦科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息57条，此外企业还拥有行政许可11个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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