北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号CN122438532A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本申请公开了一种工艺腔室及半导体工艺设备，工艺腔室包括：腔室本体，包括环形侧壁，以及封盖在环形侧壁的顶面的封盖件，环形侧壁的内壁凸设有第一环形基座，第一环形基座设有从底面贯穿至顶面的第一测量通道；支撑组件设置于第一环形基座内；第一测量装置设置于第一测量通道中；第一反射件，设置于封盖件与第一环形基座之间，用于将第一目标区域的光线反射至第一测量装置，其中，第一目标区域至少包括晶圆的边缘至支撑组件的边缘的第一环形区域的一部分，第一环形区域以支撑组件的中心为圆心；第一测量装置用于测量第一目标区域中晶圆的边缘至支撑组件的边缘的距离，以判断晶圆是否偏位；本申请可以实时监测晶圆是否发生偏移，降低成本。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1451次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5877条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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