北京
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国家知识产权局信息显示，周星工程股份有限公司申请一项名为“形成氮化镓膜的方法”的专利，公开号CN122438972A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本公开涉及一种在位于腔室中的基板上形成氮化镓膜的方法，其包括将含镓源气体喷射至基板上的步骤以及将含氮反应气体喷射至基板上的步骤。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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