北京
国家知识产权局信息显示，西安和其光测科技有限公司申请一项名为“一种测温仪及快速热退火炉、测温方法、存储介质”的专利，公开号CN122429926A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本申请公开了一种测温仪及快速热退火炉、测温方法、存储介质，涉及半导体制造技术领域。该测温仪包括处理模块、光谱测温模块和单色测温模块，光谱测温模块的光纤接口和单色测温模块的光纤接口通过Y型光纤连接光导管的第一端，光导管的第二端设置在硅晶圆的待测温点；光谱测温模块用于采集并处理硅晶圆的第一透过光谱，获得待测温点的第一温度曲线；单色测温模块用于基于硅晶圆的热辐射能量，同步获得待测温点的第二温度曲线；处理模块用于将第一温度曲线和第二温度曲线在包含300℃左端点的预设区间内的目标交点作为切换点，并将切换点之前的第一温度曲线与切换点之后的第二温度曲线整合，获得待测温点的最终温度曲线，由此实现准确测温。
天眼查资料显示，西安和其光测科技有限公司，成立于2022年，位于西安市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，西安和其光测科技有限公司参与招投标项目8次，专利信息10条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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