北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“固体源前体容器”的专利，公开号CN122382542A，申请日期为2021年4月。
专利摘要显示，本公开总体上涉及一种固体源前体输送系统。更具体地，本公开涉及一种固体源前体容器，其可用于汽化储存在容器内的固体前体的供应。公开的源容器利用容器的内部内的多个单独的腔或凹穴。每个单独的凹穴可装载有前体。在一布置中，凹穴可装载有压缩的前体材料的预成型块，其密度通常高于在将固体前体填充在源容器内时先前实现的密度。固体前体材料的增加的密度增加了源容器的容量，导致更换和/或重新填充源容器之间的间隔更长。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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