北京
国家知识产权局信息显示，浙江晟霖益嘉科技有限公司取得一项名为“一种晶圆固定装置”的专利，授权公告号CN224478137U，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种晶圆固定装置，包括静电卡盘、压环和沉积环，所述静电卡盘外设置有沉积环，所述静电卡盘位于晶圆的底部，所述压环位于晶圆的上方，所述沉积环的内径大于静电卡盘外径，所述沉积环的外径大于晶圆的外径，所述压环的内圆直径小于晶圆的外径；所述静电卡盘的底部设置有加热器和电机，所述加热器在电机驱动下，通过丝杆传动机构使得放置在静电卡盘上的晶圆上升移动并与压环相接触，且所述压环完全覆盖沉积环。本实用新型提供的晶圆固定装置，能够有效改善降低了高翘曲度晶圆溅射工艺难度，增加晶圆利用率，减小晶圆发生粘片、背金属污染和尖端放电的问题。
天眼查资料显示，浙江晟霖益嘉科技有限公司，成立于2022年，位于杭州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3308.9244万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江晟霖益嘉科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息38条，专利信息60条，此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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