北京
国家知识产权局信息显示，成都纤声科技有限公司申请一项名为“一种MEMS器件及其制备方法”的专利，公开号CN122355218A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本申请提供一种MEMS器件及其制备方法，涉及微机电技术领域，在工艺末期通过刻蚀形成释放空腔以释放振膜时，侧掏结构的深度不再是仅由刻蚀时间控制，而是转变为通过释放阻挡部所在位置进行控制。这意味着，释放空腔最终的至少部分边界不再由多重因素影响的刻蚀时间决定，而是转而由物理存在的释放阻挡部的位置来精确限定。因此，振膜的有效振动区的至少部分边界被释放阻挡部所限定。当刻蚀时间在小范围内波动时，只要确保能将刻蚀前沿至释放阻挡部，振膜的可动边界基本是一致且可控的，提高了振膜有效振动区的边界和晶圆内的均匀性，从而保障了器件电容输出效率与机械可靠性的一致性，显著提升了量产可行性。
天眼查资料显示，成都纤声科技有限公司，成立于2020年，位于成都市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本151.748253万人民币。通过天眼查大数据分析，成都纤声科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息44条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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