北京
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国家知识产权局信息显示，洛阳理工学院、深圳市容微精密电子有限公司申请一项名为“MEMS探针卡测试方法、装置、设备及存储介质”的专利，公开号CN122345829A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明涉及探针卡测试技术领域，公开了一种MEMS探针卡测试方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：对待测MEMS探针卡的N根探针进行分组，得到M个测试组的测试通道配置表；基于所述测试通道配置表为各测试组的探针配置测试回路并在探针下压接触基板过程中采集各探针的电压数据；将所述电压数据除以测试电流，得到瞬时接触电阻序列，并基于所述瞬时接触电阻序列计算各探针的电阻稳定速率；选取所述电阻稳定速率最大值对应的探针作为基准探针，计算其余各探针与所述基准探针的电阻稳定速率差值除以基准值，得到各探针的速率偏差比；筛选所述速率偏差比超过预设阈值的探针作为异常探针，进而提高了MEMS探针卡测试的准确率。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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