国家知识产权局信息显示,陕西华秦科技实业股份有限公司取得一项名为“一种用于多靶共溅射镀膜的工装”的专利,授权公告号CN224467897U,申请日期为2025年6月。
专利摘要显示,本实用新型属于溅射镀膜工装技术领域,具体涉及一种用于多靶共溅射镀膜的工装。本实用新型通过实际生产需要可在连接盘上固定连接多个单靶固定装置,通过调节靶材支板在U型滑槽上的位置,可以较为灵活的控制多个磁控溅射装置之间的距离,在相同磁控溅射装置的靶材同溅射时,若零件较小,靶材之间距离较为远时,将会造成靶材的浪费,通过调整靶材之间的距离,提高靶材的利用率。进一步通过调整角度定位板与调节板之间的相对角度,进而控制靶材溅射角度,对于需要处理一些曲面件时,通过调整靶材角度实现镀膜的均匀性。本装置可在原有单靶镀膜设备上增加工装及配件能够实现多靶不同元素共溅射,极大减小新设备的采购,具有较高的经济实用性。
天眼查资料显示,陕西华秦科技实业股份有限公司,成立于1992年,位于西安市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本38159.8945万人民币。通过天眼查大数据分析,陕西华秦科技实业股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目184次,财产线索方面有商标信息70条,专利信息187条,此外企业还拥有行政许可45个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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