北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“流量控制环组件及其使用方法”的专利，公开号CN122321749A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，公开了用于气相反应器的流量控制环组件、反应器、反应器系统和方法。流量控制环组件可经配置以在衬底处理期间减轻颗粒形成。流量控制环组件包括分隔板、流量控制环和腔室隔离环。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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