北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“固体源容器和监测方法”的专利，公开号CN122318769A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，一种方法可以包括：将包含固体前体的源容器加热至预定温度；使源容器中的固体前体的第一部分升华以产生前体气体；使前体气体流过将源容器与目标容器连接的气体管线；由联接至气体管线的第一压力传感器测量流过气体管线的前体气体的压力值；和/或基于压力值确定从源容器流到目标容器的固体前体的第一量。确定固体前体的第一量可以包括将测量的压力值输入到压力与前体转移速率的预定函数中。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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