国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“晶圆清洗方法”的专利,公开号CN122270072A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本申请提供了一种晶圆清洗方法,属于半导体技术领域,所述晶圆清洗方法包括:提供晶圆,晶圆包括第一区和第二区,在晶圆的第一区上形成多个压电结构,压电结构包括依次堆叠的电场屏蔽层和压电层;执行半导体制造工艺,以在第二区上形成半导体结构,形成所述半导体结构之后,晶圆的表面上具有含碳有机物;对晶圆的表面执行二流体清洗处理,压电结构促使二流体清洗处理过程中产生氧化基团,利用氧化基团去除晶圆的表面上的含碳有机物。本申请可高效且安全地去除晶圆上的含碳有机物。
天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200759.1697万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了13家企业,参与招投标项目644次,财产线索方面有商标信息54条,专利信息1709条,此外企业还拥有行政许可27个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.