北京
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国家知识产权局信息显示，周星工程股份有限公司申请一项名为“基板处理设备及基板处理方法”的专利，公开号CN122250208A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，公开了一种基板处理设备及基板处理方法。基板处理设备包括在其内对基板执行处理工艺的腔室、用于在腔室内部支撑基板的基板支撑件、用于通过检测基板的状态获取数据的获取器以及用于通过使用由获取器获取的数据确定基板的状态信息的控制器。状态信息可以包括基板的损坏状态和基板的可卸除状态中的至少一者。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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