北京
国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种靶室冷却水控制系统”的专利，公开号CN122237284A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本申请提供一种靶室冷却水控制系统，涉及半导体制造技术领域。在本申请中，靶室冷却水控制系统应用于靶室冷却循环系统中的排水装置，排水装置安装有温度传感器和流量传感器，温度传感器用于采集冷却水的温度，流量传感器用于采集冷却水的流量，靶室冷却循环系统还包括供水装置和冷却水回路，冷却水回路用于连通排水装置和供水装置且输送冷却水，靶室冷却水控制系统至少包括第一运放模块、第二运放模块和控制模块，第一运放模块分别与温度传感器和控制模块直连，第二运放模块分别与流量传感器和控制模块直连，控制模块还与排水装置的水阀和气阀连接，以更加精确地控制冷却水的排放。
天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本135298.7908万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目84次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息180条，此外企业还拥有行政许可25个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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