北京
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国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司、卡尔蔡司SMS有限公司申请一项名为“用于校正掩模的误差的方法和设备以及计算机程序”的专利，公开号CN122239361A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，提供了一种用于校正掩模基板的误差的方法(700)、计算机程序和设备(400)，其使用施加在掩模基板上多个位置处的多个激光脉冲。该方法包括：接收(720)掩模基板的折射率图；接收(730)掩模基板误差信息；以及决定(740)多个激光脉冲和/或多个位置中的每一个的至少一个第一激光参数，其中该决定是基于折射率图和掩模基板误差信息。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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