北京
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国家知识产权局信息显示，华洋精机股份有限公司申请一项名为“光罩图样面朝下的光罩移载装置”的专利，公开号CN122186706A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明公开一种光罩图样面朝下的光罩移载装置，包含有：一基座；一X向移动台；一Y向移动台；一夹爪组，具有二夹持单元；一推动定位组，具有一不动单元以及一推动单元；一升降旋转台；以及一承接台，具有四承接架；其中，该承接台上下移动的位置中，具有一承接位置、一夹持位置以及一底部位置，该承接台位于该夹持位置时，该二夹持单元可夹持或释放位于该承接台上的该光罩，且该推动单元可推动或不推动该光罩。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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