国家知识产权局信息显示,赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司申请一项名为“一种晶圆翘曲度的矫正方法及晶片”的专利,公开号CN122121639A,申请日期为2026年2月。
专利摘要显示,本申请提供一种晶圆翘曲度的矫正方法及晶片,涉及半导体技术领域,能够降低晶圆的翘曲度,进而提高大尺寸半导体器件的良率。晶圆翘曲度的矫正方法包括:获取晶圆的初始翘曲度和初始应力分布;基于初始翘曲度和初始应力分布,在晶圆的一侧设置支撑衬底,其中,支撑衬底的翘曲度小于晶圆的初始翘曲度;基于初始翘曲度和初始应力分布,在晶圆背离支撑衬底的一侧设置应力补偿层,应力补偿层的翘曲度与晶圆的初始翘曲度的力矩大小相同,应力补偿层的翘曲方向与晶圆的翘曲方向相反;去除支撑衬底,以完成晶圆的翘曲矫正。
天眼查资料显示,赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司,成立于2015年,位于北京市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本210526.32万人民币。通过天眼查大数据分析,赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司参与招投标项目26次,专利信息154条,此外企业还拥有行政许可106个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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