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来源：市场资讯
（来源：恒运昌股份）
关于恒运昌股份
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司(证券简称:恒运昌，股票代码:688785)，为国内半导体射频电源领域首家上市企业，是国内领先的大规模集成电路薄膜沉积、等离子体刻蚀、光刻、去胶、离子注入及键合等设备的核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、气体流体精密控制，真空获得与计量零部组件的设计、研发、生产、销售及技术服务。
公司是国内技术领先、实现大批量产品交付的等离子体射频电源系统企业，产品可应用于异质结、钙钛矿电池制程，赋能光伏新能源产业发展。
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