北京
国家知识产权局信息显示，上海鲲游科技有限公司申请一项名为“半导体倾斜结构及其形成方法”的专利，公开号CN122072439A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体倾斜结构及其形成方法，用于形成具有预设倾斜角度的斜齿结构，包括：在基底上形成光栅胶层；采用泰伯光刻工艺图形化光栅胶层，形成光栅层，泰伯光刻工艺图形化光栅胶层的曝光过程中，泰伯光刻工艺的扫描距离基于预设倾斜角度获取，并且，入射光线的入射角为锐角，使光栅层包括若干相互分立的斜齿掩模结构或若干倾斜凹槽，斜齿掩模结构的齿侧壁与基底的表面之间的夹角为锐角，倾斜凹槽的槽侧壁与基底的表面之间的夹角为锐角；基于光栅层，在基底上形成若干相互分立的斜齿结构，斜齿结构的侧壁面与基底的表面之间的夹角为锐角。以此，满足斜齿结构的制作，形成符合预期的稳定性好的斜齿结构。
天眼查资料显示，上海鲲游科技有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海鲲游科技有限公司参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息236条，此外企业还拥有行政许可29个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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