北京
国家知识产权局信息显示，湖南蓝芯微电子科技有限公司取得一项名为“用于改善外延片外观的石墨盘清洁装置”的专利，授权公告号CN224237627U，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于改善外延片外观的石墨盘清洁装置，它属于半导体技术领域，其通过高压氮气的吹扫以及高速旋转的刷子清洁，可完整清洁附着在石墨盘表面不易吹扫掉的颗粒物，减少外延层的颗粒污染，提高外观良率。它主要包括机台，机台上设有台板，所述机台上设有固定架，固定架上设有毛刷电机，毛刷电机的输出轴与毛刷架连接，毛刷架上设有若干刷头，刷头位于台板上方，机台的上方区域设有防尘罩，防尘罩上插设有氮气管，氮气管的端部设有喷气头，喷气头位于台板中心的上方；机台的台板上设有若干负压排气孔，台板下方形成排气空腔，若干负压排气孔与排气空腔连通，排气空腔与排气管连接。本实用新型主要用于石墨盘清洁。
天眼查资料显示，湖南蓝芯微电子科技有限公司，成立于2023年，位于娄底市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析，湖南蓝芯微电子科技有限公司参与招投标项目16次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息44条，此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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