山外大教授刘天涯：实现全固态深紫外激光设备的国产商业化突破

一束激光扫过气球表面的黑色字迹，墨迹瞬间消失，气球却完好无损；在硬度仅次于钻石的碳化硅上，这束光又能精准打出微米级精密小孔。这便是全固态深紫外（DUV）激光的“魔力”——凭借极短的波长和极高的光子能量，其在半导体芯片光刻检测、精密微纳加工、前沿科学研究等领域具有无可替代的优势。

过去很长一段时间，深紫外激光在国内并没有成熟的市场化产品，也缺乏可借鉴的技术路径。直到去年底，杭州雷声激光科技有限公司（以下简称“雷声激光”）正式宣布，其团队自主研发的全固态深紫外（DUV）激光器已实现规模化稳定量产。“我们产品的核心性能指标经中国计量科学研究院认证达到了国际领先水平。”雷声激光CEO，山东外事职业大学教授、激光工程中心主任刘天涯自豪地说，这是我国在高端光电子核心器件领域迈出的关键一步。

选择一条新的技术路径

在芯片制造中，光刻机就像一台精密复杂的特殊照相机，是生产芯片时“定义图形”中最为重要的一种机器。而深紫外（DUV）激光源，则被视为光刻机的“心脏”。

“长期以来，全球光刻机市场由国外几大厂商垄断。他们所采用的气态技术路线，虽已应用多年，但需要庞大复杂的冷却系统维持气体稳定，能量利用率仅在3%—6%之间。这不仅意味着设备体积庞大、能耗惊人，更限制了设备性能的进一步提升。”刘天涯说，雷声激光选择的全固态技术路线，与美国等西方国家主流的技术路径完全不同，却带来了根本性改变。

他介绍，全固态深紫外（DUV）激光器用全固态晶体取代气体介质，使结构更紧凑、运行更稳定，能量利用率更提升至46%以上。与此同时，固态晶体的稳定性让输出的激光光束质量更高、控制更精准。“通俗一点来说，我们的产品能够让下游的厂商，在光刻或者其他精密制造领域都有了实现更精密、更稳定、更通用的可能性，同时极大地拉长了科研纵深。”

刘天涯表示，雷声激光自主研发的全固态深紫外（DUV）激光器已实现100%国产化，并进入商用阶段。该产品自去年底量产后，已陆续交付国内多家领先的半导体设备制造商、精密检测仪器公司和前沿科研机构。目前，产能可满足精密半导体制造领域一定的市场需求。

值得一提的是，除了在半导体领域的应用，雷声激光攻克的全固态深紫外（DUV）光源技术，还能为各行各业带去新的可能。刘天涯介绍，在医疗领域，该技术可用于加工微型手术机器人所需的核心芯片，进一步缩小机器人体积，从而降低手术创伤、提升操作精度；在能源领域，它可用于加工新一代钙钛矿太阳能电池薄膜，为汽车、建筑提供清洁电力，在AI芯片制造领域，光模块、光存储，光通讯更是步步离不开精密激光作业……

“激光是一个基础的物理工具，这个东西做不好，所有的人工智能、所有微观世界的精密制造都做不好；反过来，有了这个趁手的工具，就能一荣俱荣。”刘天涯说。

从门外汉到科技型企业家

成立于2024年的雷声激光，背后是一支拥有63年技术积淀的科学家团队；而带领这家高科技企业前行的刘天涯，实则是个“半路出家”的文科生。

据刘天涯介绍，雷声激光的科学家团队早在20世纪60年代便已从事固体激光器、固体激光技术以及应用方面的研究。团队多年来承担并完成了多项国际、国家重点科研项目和重大工程项目，包括北斗二号激光测距系统。2015年，这群科学家毅然走出体制，在北京中关村开启产业化征程，而他也是在那时加入队伍，后又为寻求从研发向制造延伸，将公司迁至杭州。

从对激光技术一知半解，到如今成为行业专家；从与一群深耕实验室的科学家们激烈争辩，到带领他们最终走向市场，刘天涯坦言自己度过了一段极其痛苦的创业历程。尤其在疫情期间，业务回款受阻，一度面临生存危机。所幸团队通过承接高难度的材料加工业务、申请国家科研基金、与高校开展横向合作等方式艰难“造血”，最终“捉住”了那束稳定、高效、可控的深紫外激光。在这个过程中，他也成长为一名真正的科技型企业家。

在刘天涯看来，创新型企业家都携带三个“毛病”。“第一，我们一定是带有攻击性的，这种攻击性不是针对同行，而是向科学难题与旧有权威发起挑战；第二，我们浑身都是反骨，没有自己亲身实践过的，我们不会认可它是对的，即使是院士讲的话，我们也不一定都认同；第三，我们一定是钻牛角尖的，偏执的，当所有人都说搞不定的时候，我们越想来试试。”

骨子里的执拗，也塑造了雷声激光独树一帜的经营理念。面对资本市场的高度关注，雷声激光始终保持着那条“小而精”的独特发展路径。刘天涯表示，公司从来没有融过资，目前也没有上市计划，“我们只想继续深耕全固态技术研发，向更短波长、更高功率、更稳定性能发起挑战。”他透露，未来，团队期望在精密半导体制成、人工智能算力底层、航空航天、生物医疗等前沿领域继续深耕和探索，推动全固态深紫外（DUV）激光器发挥更大的作用，让中国之“光”闪耀世界。

【论杭商精神】

问：你如何理解杭商精神？

刘天涯：我认为杭商精神主要体现在几个方面：一是包容开放，允许一切发生，要秉持“先行先试、敢为天下先”的态度，勇于尝试，尝试了不一定成功，但不尝试肯定失败；二是追求创新，创业一定要有创新精神，创新未必立刻见效，但没有创新就难有真正的突破与成长；三是务实精神，要用实践说话，注重实际成效。

转载自《每日商报》：杭商故事