国家知识产权局信息显示,中国科学院深圳先进技术研究院;湖北兴发化工集团股份有限公司申请一项名为“一种堆叠衬底诱导黑磷线择优生长的方法”的专利,公开号CN121951706A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体材料技术领域,特别涉及一种堆叠衬底诱导黑磷线择优生长的方法,包括以下步骤:首先,将红磷、金属锡、碘以一定比例混合均匀并放置反应器中;然后,将覆有金膜的硅/二氧化硅衬底进行预退火处理,在反应器中用多孔介质隔离原料,并在反应器另一端放置退火处理后的衬底;最后,将反应器置于加热器中进行升温反应,反应完毕后自然冷却至室温;取出衬底,得到不同形态的黑磷。本申请利用化学气相输运,先对金膜进行预处理,使其在高温下转变为分散金颗粒,以纳米颗粒为核诱导生长黑磷。且通过硅片的堆叠,实现空间限域生长来控制整体黑磷线的数量和长度,从而实现黑磷在衬底上的可控制备,整体反应温和,反应条件较低,成本较低。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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