北京
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国家知识产权局信息显示，先进尼克斯有限公司申请一项名为“用于湿法化学半导体处理的锁定框架固持器和工件装载器”的专利，公开号CN121925073A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明介绍了一种用于湿法化学半导体处理的工件固持器和一种用于将工件装载至固持器的装置。所述工件固持器包括两个周边密封板、电气接触插件以及锁定板。当所述锁定板处于锁定位置时，这些周边密封板为流体密封和电气接触提供力。所述锁定板还可作为电气总线，为这些电气接触插件提供电流。工件装载器包括将工件插入所述工件固持器或从其中取出的工作台。所述装载器还包括真空卡盘，用于在装载之前对周边密封板进行定位，并在锁定和解锁期间对所述周边密封板进行压缩。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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