北京
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国家知识产权局信息显示，泛林集团（萨尔斯堡）有限公司申请一项名为“用于化学和/或电解表面处理的分配系统、装置和分配方法”的专利，公开号CN121915392A，申请日期为2018年7月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于基板在工艺流体中的化学和/或电解表面处理的分配系统、装置以及分配方法。该分配系统包括：分配体，至少一个工艺流体入口，以及通道，其中，该分配体被配置成将工艺流体的流和/或电流引导至基板，其中，通道至少部分地围绕分配体的周围，其中，分配体包括喷嘴阵列，喷嘴阵列是若干或多个喷嘴的区或区域，其中，喷嘴阵列包括将工艺流体的流引导至基板的出口开口和接收工艺流体从基板的回流的回流开口，其中，通道流体地连接至喷嘴阵列的出口开口，以及其中，通道被布置和定尺寸成将工艺流体从工艺流体入口分配到喷嘴阵列的所述出口开口。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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