亚电科技HOT SPM清洗设备交付头部晶圆厂 知识产权护城河再获验证

近日，亚电科技自主研发的HOTSPM清洗设备顺利完成出货，正式发往国内头部晶圆厂产线。此次交付不仅是亚电科技在半导体湿法清洗领域技术实力的又一次集中展现，更标志着其清洗设备获得了逻辑芯片、车规级功率器件、特色工艺等领域头部客户的高度认可，为相关芯片的量产提供了稳定可靠的国产装备支撑。

本次交付的设备属于亚电科技自研的12吋单片式清洗设备系列产品，在核心性能上实现了多项突破。在原子级清洁精度方面，该设备采用差异化创新技术，可精准去除晶圆表面颗粒、金属离子、有机物等各类污染物，有效避免微小杂质导致的芯片报废，为芯片良率提供了坚实保障。在智能调控层面，设备搭载“一片一策”智能控制系统，可根据不同晶圆的工艺需求进行个性化调控，大幅降低交叉污染风险，提升了生产的灵活性与稳定性。

这一成果的背后，是亚电科技多年来在半导体湿法清洗设备领域的深耕与积累。经过持续自主研发和技术创新，亚电科技已掌握多项关键核心技术，有效提升了晶圆清洗能力、清洗效率及设备运行稳定性等产品核心指标。公司致力于推动行业实现产品国产化率的有效提升，在部分湿法清洗特殊工艺及前沿技术产品领域实现了国产技术突破，打破了国外企业在高端湿法清洗设备领域的长期垄断。

截至2025年6月，亚电科技已取得百余项授权专利，构建起坚实的知识产权保护体系。凭借技术优势与产品实力，亚电科技已为多家知名硅基半导体、化合物半导体晶圆厂、光伏厂商客户提供系统化的湿法设备与工艺解决方案，在产线中占据重要地位，赢得市场和客户的广泛认可。

近期，亚电科技在知识产权纠纷中接连取得积极进展，进一步印证了其坚固的知识产权护城河。目前，一件涉及“一种光伏硅片链式清洗机干燥系统”专利的无效请求已被请求人撤回。同时，涉及“悬臂式机械手”“一种工艺槽及光伏设备”和“一种上压轮组件”的三起侵权诉讼也已被原告撤回，原因包括对方未完成举证、相关专利被宣告无效等。

这些诉讼的撤回，不仅体现了亚电科技在知识产权保护方面的严谨性与有效性，也反映出公司在技术创新与专利布局上的严密性与扎实性。

在半导体产业国产化进程加速的背景下，亚电科技凭借技术突破与知识产权护城河的双重优势，正稳步迈向国产湿法清洗设备的领军地位，为中国半导体产业链的自主可控贡献重要力量。