辽宁
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沈阳这里又要建个总部！
中科芯微洁净机器人研发基地及区域总部项目位于沈阳市经济技术开发区，占地面积3万平方米，建筑面积约2.9万平方米，规划建设数字化智能制造研发厂房、科技研发综合楼、生产附属用房、门卫等设施。作为专注于高端洁净机器人研发制造的重点工程，该项目旨在推进关键装备国产化，赋能区域智能制造产业升级。
截至2026年4月，项目已进入EPC工程总承包阶段，项目建成后将进一步推动我国半导体核心装备的国产化进程。
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