赛米提斯申请用于支持向前开式晶圆传送盒内部供应氮气的吹扫板的制备方法专利，生成具有第3高度的第3粘合层

国家知识产权局信息显示，赛米提斯股份有限公司申请一项名为“用于支持向前开式晶圆传送盒内部供应氮气的吹扫板的制备方法及使用所述方法的计算设备”的专利，公开号CN121844749A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，公开了一种用于支持向前开式晶圆传送盒内部供应氮气的吹扫板的制备方法及使用所述方法的计算设备，所述制备方法包括以下步骤：(a)在预定平面上的四个部位提供固体材料后使用从预定刺激源供应的预定粘合剂生成第1粘合固体材料，或者将使用从所述预定刺激源供应的所述预定粘合剂对所述固体材料生成的所述第1粘合固体材料提供到所述预定平面上的四个部位，以生成具有第1长度、第1宽度和第1高度的作为四个第1粘合层的四个管道配件结合部，其中，在所述第1高度中未生成所述四个第1粘合层的第1_1内部高度部分形成四个第1_1内部空间，在除位于对应于所述第1高度的上部的上表面之外的至少一部分表面上形成预定通孔，以生成所述四个管道配件结合部，所述四个第1_1内部空间的第1_1内部长度和第1_1内部宽度小于所述第1长度和所述第1宽度；(b)将所述四个管道配件结合部沿远离所述预定刺激源的方向移动对应于所述第1高度的长度后，在所述四个管道配件结合部对应于所述第1高度的上部提供所述固体材料后使用从所述预定刺激源供应的所述预定粘合剂生成第2粘合固体材料，或者将使用从所述预定刺激源供应的所述预定粘合剂对所述固体材料生成的所述第2粘合固体材料提供到所述四个管道配件结合部对应于所述第1高度的上部并进行层叠，以生成具有第2高度的第2粘合层，其中，在与所述四个管道配件结合部的所述四个第1_1内部空间连接的部分中，在所述第2高度中未生成所述第2粘合层的第1_2内部高度部分形成四个第1_2内部空间，从围绕所述四个第1_2内部空间的所述第2粘合层的表面中特定内侧面，朝向远离所述四个管道配件结合部的方向，在所述第2高度中未生成所述第2粘合层的第2内部高度部分形成具有第2内部长度和第2内部宽度的作为四个第2内部空间的四个气体管道，形成由从所述四个气体管道的两端中所述四个管道配件结合部的远端起以预定距离间隔开的中心位置限定的四个第1中空部，以生成所述第2粘合层，所述四个第1_2内部空间的第1_2内部长度和第1_2内部宽度小于所述第1长度和所述第1宽度，所述第2内部高度小于所述第1_2内部高度；以及(c)将所述四个管道配件结合部和所述第2粘合层沿远离所述预定刺激源的方向移动对应于所述第2高度的长度后，在所述第2粘合层的上部提供所述固体材料后使用从所述预定刺激源供应的所述预定粘合剂生成第3粘合固体材料，或者将使用从所述预定刺激源供应的所述预定粘合剂对所述固体材料生成的所述第3粘合固体材料提供到所述第2粘合层的上部并进行层叠，以生成具有第3高度的第3粘合层，其中，在所述四个第1中空部的上侧形成具有所述第3高度且形成有由所述中心位置限定的四个第2中空部的四个前开式晶圆传送盒结合结构，以生成所述第3粘合层。

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本文源自：市场资讯

作者：情报员