国家知识产权局信息显示,恩特格里斯公司申请一项名为“具有穿过光罩隔室壁的保持部的光罩盒”的专利,公开号CN121832208A,申请日期为2020年12月。
专利摘要显示,本申请涉及一种具有穿过光罩隔室壁的保持部的光罩盒。所述光罩盒包含外部分及内部分,所述外部分包含盒门及盒圆顶,所述内部分包含底板及盖。所述底板或所述盖中的一者包含朝向所述底板或所述盖中的另一者延伸的光罩隔室壁。所述光罩隔室壁包含一或多个保持特征。所述盒门或所述盒圆顶包含经配置以接触所述保持特征的一或多个致动表面。所述保持特征经配置以通过与所述致动表面的接触而被移动。所述保持特征可处于一位置中,所述位置经配置以在通过将所述底板与所述盖接合、将所述经接合底板与所述经接合盖放置于所述盒圆顶内及将所述盒门紧固到所述盒圆顶而组装所述光罩盒时将光罩紧固于所述光罩盒的所述内部分内。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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