Sill Optics 紫外远心 ƒ-Theta 场镜 S4LFT4010-075

在精密紫外激光微加工领域，光束质量与扫描一致性直接决定加工上限。Sill Optics 推出的 S4LFT4010-075，专为 355 nm 紫外激光系统深度优化，基于高透过率熔融石英材质和远心光路架构的融合设计，在保证高损伤阈值的同时实现优异的透过性能（>97%）。为355 nm紫外激光加工提供稳定、高一致性的扫描解决方案。

▶ S4LFT4010-075 有效焦距为100.2 mm，工作距离132 mm，最大支持10 mm入射光束直径，适用于高精度打标、微结构加工及半导体制造等典型应用场景。在典型双振镜系统中可实现35 × 35 mm扫描范围，最大远心误差≤1.2°，显著降低扫描过程中入射角变化带来的加工尺寸偏差与形貌畸变，确保从中心到边缘全视场加工精度的一致性。对于高一致性要求的精密加工任务尤为关键。
此外，S4LFT4010-075 针对紫外波段进行了镀膜与像差的系统级优化，兼顾高透过与抗损伤能力（1.0 J/cm² @1 ns, 50 Hz），在保证能量利用率的同时控制焦斑质量与场均匀性，适用于纳秒及超快（USP）激光加工场景。在工程实现层面，兼顾高性能与系统兼容性，是构建高可靠紫外扫描系统的理想选择，适用于科研与工业批量制造场景。
详细技术参数：https://www.sinteclaser.com/static/upload/file/S4LFT4010-075.pdf
核心性能亮点：
✅ 基于紫外355 nm单一波长优化，确保紫外加工场景下的最佳聚焦质量与系统效率；
✅ 最大远心误差≤1.2°，有效降低扫描角度引起的尺寸误差，提升加工一致性；
✅ >97%整体高透过率与低损耗设计，有效提升系统能量利用率，适用于高效率加工场景
✅ 高品质熔融石英材质，优异的热稳定性与抗紫外损伤能力，适配高功率紫外激光应用
✅ 最大支持10 mm入射光束，适配主流振镜系统，扫描范围达35×35 mm
✅ 纳秒 & 超快激光兼容，支持SP与USP激光应用，满足微纳加工及精密制造需求
新特光电可提供不同扫描视场、焦距及波长（UV–IR）的远心 / 非远心ƒ-Theta场镜，以及定制化光学解决方案，满足从科研到工业量产的多样化需求。点击查看 Sill Optics 全系列场镜：https://www.sinteclaser.com/optical/sill-ftheta-lens.html
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