国家知识产权局信息显示,应用材料公司申请一项名为“用于紧凑型光学计量系统的镜折叠照明”的专利,公开号CN121816493A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本公开的实施例一般涉及用于测量影像质量标准的波导的计量系统与计量方法。在至少一个实施例中,光学装置计量系统包括:平台、主体及位在主体内并安装在平台上方的光引擎。光引擎包括:光源、相对于光源成角度的折叠镜,折叠镜配置成将光束转向平台、位于折叠镜与平台之间的一个或多个透镜或阵列及位于一个或多个透镜或阵列与平台之间的投影透镜。系统进一步包括:位在主体内且安装在平台上方与光引擎相邻的第一探测器,配置为接收从平台向上投射的投射光束。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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