Semicon China收官 | 掌控自主链，硬核RGA出击，订单印证实力

来源：市场资讯

（来源：奕瑞科技）

3月25日~27日，由国际半导体产业协会（SEMI）主办的Semicon China 2026圆满落幕。作为全球半导体行业的顶级盛会，本次展会汇聚了产业链上下游核心企业、技术精英与行业伙伴，成为展现全球半导体技术迭代与产业布局的核心舞台。

作为全球知名的X线核心部件/综合解决方案以及硅基微显示背板供应商，奕瑞科技一直以“让更安全、先进的X技术深入世界每个角落”为愿景，依托深厚的电真空技术、材料研发、部件及系统研发基础，以及自有Fab对半导体工艺及设备需求的深刻理解，在深耕X光检测领域多年后顺势发力、强势切入气体检测赛道。此次，公司携完全具有自主知识产权的创新检测产品矩阵首次亮相展会，凭借全链自主的硬核实力，成为现场焦点，收获业界广泛关注与认可。

从微焦点射线源、平板探测器等核心部件，到整机系统与智能算法，奕瑞实现了关键部件全部自研、国产，全面展示了覆盖“材料、部件、系统、软件、算法”的全链自主能力，以扎实的技术底座，为半导体工艺安全筑牢防线，也彰显了在国内检测领域的深厚积淀与核心竞争力。

长期以来，残余气体分析仪（RGA，Residual Gas Analyzer）市场主要被欧美日企业垄断，成为制约国内半导体产业高质量发展的“卡脖子”痛点。直面行业困境，奕瑞逆势突围，此次展会重磅推出三大系列半导体工艺管控级RGA产品及配套系统，正式打响国产RGA突围战，为国产替代注入强劲动力。

核心展品矩阵，硬核护航工艺安全

1

宽压适配，专克复杂工艺

/ QRGA-CIS系列RGA

专为degas及process等复杂工艺制程打造，多压力入口设计精准适配复杂工艺环境，实现全流程稳定监测。

产品特点

●多压力入口+紧凑结构，极易集成至半导体生产设备及满足复杂工况要求

●标配电容薄膜规（CDG），实现过程压力监测与过压双重保护

●模块化设计，操作维护简单

●强大的控制与数据采集系统，与工厂无缝衔接

典型应用

●ALD/PVD/CVD/Etch等

●高能物理、航空航天

●电池泄漏检测、电池产气分析

●储能材料研究、电化学分析

2

高效经济，PVD优选

/ QRGA-HPR系列RGA

无需泵浦系统，结构精简、部署灵活，以高性价比满足核心核心工艺监测需求

产品特点

●无需泵浦即可实现高达20mTorr的高灵敏度检测，实时拦截污染，保护晶圆

●尺寸紧凑，高质量分辨率，匹配严苛制程需求

●最大化PM效率，全系列支持机台通讯

典型应用

● 检漏、真空诊断

●水、烃类、光刻胶分析

● PVD及磁控溅射在线监测

3

实时监测，全程守护

/ 电弧检测系统

全流程等离子体电弧监测系统，实时追踪PVD工艺中等离子体状态与电弧事件，实现设备状态自动化监控与异常预警，保障工艺稳定。

产品特点

●高效集成：直连直流发生器以监测电弧事件并收集电压、功率等信息，单设备支持1-4个腔室并行监控。

●智能协同：配合Fabvision软件，实现数据采集、调用、智能报警，以及对半导体机台的自动化监控。

● 闭环管控：告警与数据直连工厂故障检测与分类系统，实现产线自动闭环。

典型应用

半导体制造领域，特别是PVD工艺环节。

4

数据融通，统一智控

/ FabVision/FabClient软件

实现传感器统一管控与工厂级协同，满足多样化工艺要求，助力Fab智能化升级。

产品特点

● FabVision软件：通过设备连接实时控制RGAs、ARCing等传感器，提供统一可视化、全自动数据采集（支持SECS/GEM智能触发）、历史数据管理、报表与SPC、邮件告警、数据上抛FDC及offline机台控制。

●FabClien软件：实现工厂级集中管理，包括跨机台实时监控、统一配方与权限、全局数据分析及集中报表告警。

值得关注的是，该系列RGA产品已在多个半导体客户完成验证并实现销售，订单的持续落地，不仅印证了产品的可靠性能与市场适配性，更体现了行业对国产高端检测设备的高度认可，进一步夯实了奕瑞在国内相关领域的市场地位。

以全自研护航半导体工艺安全，以全链自主重塑检测格局。奕瑞始终以技术创新为核心，深耕国产高端检测设备研发，助力国内半导体产业打破国外垄断、实现自主可控。

下一站，

9月深圳SEMI-e国际半导体展会，

奕瑞科技将继续携硬核产品与前沿技术，

与行业伙伴共探产业升级新路径，

共赴半导体产业高质量发展之约，

我们再相见！