国家知识产权局信息显示,四川矽芯微科技有限公司取得一项名为“一种晶圆加工用吸附装置”的专利,授权公告号CN224069083U,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本实用新型涉及晶圆吸附技术领域,公开了一种晶圆加工用吸附装置,包括安装板和吸附盘,吸附盘通过连杆固定在安装板下方,吸附盘的底部外圈均匀安装有多个拉力传感器,拉力传感器的测量端上安装有真空吸盘,位于安装板的底部两侧对称的安装有电滑轨,电滑轨的滑块下方竖向固定有竖杆,竖杆朝向吸附盘的侧边下方固定有防坠块,且防坠块的侧表面开设有卡槽。本实用新型技术方案通过在每个真空吸盘上方的吸附盘底部均安装有拉力传感器,并设置有可被电滑轨带动移动的防坠块,在存在真空吸盘未吸附紧时,存在真空吸盘受力不均的情况而被拉力传感器检测到,可以自动控制电滑轨带动防坠块通过卡槽卡在晶圆的侧边,避免晶圆坠落造成的损失及清理问题。
天眼查资料显示,四川矽芯微科技有限公司,成立于2015年,位于遂宁市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1273.069123万人民币。通过天眼查大数据分析,四川矽芯微科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目5次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息46条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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